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潔凈室無塵室空氣潔凈度等級(jí)測(cè)試

2015-01-20 10:07:11 admin
空氣潔凈度等級(jí)測(cè)試
C.1.1 空氣潔凈度等級(jí)的測(cè)試一般采用粒子計(jì)數(shù)器，采樣量應(yīng)大于1L/ min。測(cè)試粒徑大于等于0.5μm粒子時(shí)，宜采用光散射粒子計(jì)數(shù)器；測(cè)試粒徑大于等于0.1的粒子時(shí)，宜采用大流量激光粒子計(jì)數(shù)器（采樣量每分鐘28.3L）；測(cè)試粒徑小于0.1μm的超微粒子時(shí)，宜采用凝聚核激光粒子計(jì)數(shù)器。
C.1.2 潔凈度等級(jí)測(cè)試前，應(yīng)先進(jìn)行風(fēng)速，風(fēng)量、靜壓差、過濾器檢漏和圍護(hù)結(jié)構(gòu)密閉性檢測(cè)。
C.1.3 采樣點(diǎn)確定
C.1.3.1 應(yīng)下式計(jì)算最少采樣點(diǎn)
                                  （C.1.3）
式中——最少采樣點(diǎn)，四舍五入取整數(shù)；
        ——潔凈室（區(qū)）的面積。在水平單向流時(shí)，指與氣流方向垂直的流動(dòng)空氣的截面積。以㎡計(jì)。
C.1.3.2 采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室（區(qū)）的面積內(nèi)，并位于工作區(qū)高度。
C.1.4 每次采樣的最少采樣量
C.1.4.1 每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量（VS）應(yīng)按下式計(jì)算：
                                  （C.1.4）
式中：——被測(cè)潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級(jí)被測(cè)粒徑的允許限值（個(gè)/m3）；
          20——在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度限值時(shí)，可檢測(cè)到的粒子數(shù)。
C.1.4.2 每個(gè)采樣點(diǎn)的采樣量至少為2L，采樣時(shí)間最少為1min，當(dāng)潔凈室（區(qū)）僅有1個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)至少采樣3次。
    當(dāng)Vs很大時(shí)，采樣時(shí)間會(huì)很長(zhǎng)，可參照采用ISO14644-1附錄F中規(guī)定的順序采樣法。
C.1.5 對(duì)于單向流潔凈室，采樣口應(yīng)對(duì)著氣流方向，對(duì)于非單向流潔凈室，采樣口宜向上。采樣速度宜接近室內(nèi)氣流速度。
C.1.6 室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過3人，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn)，并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。
C.1.7 每個(gè)采樣次數(shù)為2次或2次以上的采樣點(diǎn)，應(yīng)按式C.1.7計(jì)算平均粒子濃度。
                               （C.1.7）
式中：——采樣點(diǎn)i的平均粒子濃度，i可代表任何位置；
      ——每次采樣的粒子濃度；
      N——在采樣點(diǎn)i的采樣次數(shù)。
C.1.8 采樣點(diǎn)為1個(gè)時(shí)，應(yīng)按式C.1.7計(jì)算該點(diǎn)平均粒子濃度。采樣點(diǎn)為10個(gè)或10個(gè)以上時(shí)，按式C.1.7計(jì)算各點(diǎn)的平均濃度后，再按式C.1.8計(jì)算潔凈室（區(qū)）總平均值。
                              （C.1.8）
式中： ——各采樣點(diǎn)平均值的總平均值；
      ——按式C.1.7計(jì)算的各個(gè)采樣點(diǎn)的平均值，既潔凈室（區(qū)）總平均值；
      m——采樣點(diǎn)的總數(shù)。
C.1.9 置信上限（UCL）的計(jì)算
C.1.9.1 當(dāng)采樣點(diǎn)只有1個(gè)或多于9個(gè)時(shí)，不計(jì)算95%置信上限。
C.1.9.2 采樣點(diǎn)為1個(gè)以上10個(gè)以下時(shí)，根據(jù)式C.1.8計(jì)算出各采樣點(diǎn)平均值和總平均值后，還應(yīng)按式C.1.9.1計(jì)算出總平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差（S）。
 
    （C.1.9-1）
C.1.9.3 最后按式B.1.9-2計(jì)算出總平均值的95%置信上限（UCL）。
                         （C.1.9-2）
式中t——分布系數(shù)，見表B.1.9。
表C.1.9    95%置信上限（UCL）的t分布系數(shù)
采樣點(diǎn)數(shù)（m） 2 3 4 5 6 7～9
t 6.3 2.9 2.4 2.1 2.0 1.9
C.1.9.4   如果每個(gè)采樣點(diǎn)測(cè)得粒子濃度的平均值以及潔凈室總平均值95%置信上限均未超過空氣潔凈度等級(jí)的濃度限值，則認(rèn)為該潔凈室（區(qū)）已達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)。
    如果測(cè)試結(jié)果未能滿足規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，可增加均勻分布的新采樣點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試，對(duì)包括新增采樣點(diǎn)數(shù)據(jù)在內(nèi)的所有數(shù)據(jù)重新計(jì)算的結(jié)果，作為最終檢驗(yàn)結(jié)果。
C.1.10 空氣潔凈度等級(jí)計(jì)算例
C.1.10.1 被測(cè)潔凈室面積（區(qū)）為1000m2，空氣潔凈度等級(jí)為ISO5級(jí)，規(guī)定受控粒子粒徑為0.3μm（D1）、0.5μm（D2）。根據(jù)測(cè)試結(jié)果確定在動(dòng)態(tài)下是否符合規(guī)定的懸浮粒子允許濃度限值。
⑴ 規(guī)定的粒徑均在現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)ISO5級(jí)粒徑范圍，并符合D2≥1.5D1的要求。
⑵ 計(jì)算最大允許懸浮粒子濃度
對(duì)≥0.3μm的粒子：
，取10200個(gè)/m3。
對(duì)≥0.5μm的粒子：
，取3520個(gè)/m3。
⑶ 按式（C.1.3）計(jì)算采樣點(diǎn)數(shù)量：
，取32
由于采樣點(diǎn)數(shù)大于10，不計(jì)算95%置信上限。
⑷ 采樣點(diǎn)每次采樣量（Vs），按式(B.1.4)計(jì)算

選用采樣量為28L/min的粒子計(jì)數(shù)器。這一選擇滿足：VS>2L、Cn.m>20個(gè)/m3的要求，其采樣時(shí)間≥1min。
⑸ 在每個(gè)采樣點(diǎn)僅作一次采樣（28L/min），測(cè)試得到的計(jì)數(shù)記錄如下：
采樣點(diǎn) 粒子數(shù)(≥0.3μm) 粒子數(shù)(≥0.5μm） 采樣點(diǎn) 粒子數(shù)（≥0.3μm） 粒子數(shù)（≥0.5μm）
1 265 58 17 68 25
2 66 48 18 58 35
3 195 18 19 202 15
4 125 28 20 222 0
5 134 18 21 212 8
6 165 16 22 178 9
7 172 8 23 158 10
8 74 9 24 142 12
9 105 7 25 118 13
10 115 38 26 116 0
11 135 17 27 128 2
12 168 16 28 108 3
13 85 15 29 98 4
14 95 12 30 138 6
15 188 11 31 148 8
16 162 0 32 118 9
⑹ 以測(cè)試數(shù)據(jù),折算為每立方米的粒子數(shù)(Xi):
采樣點(diǎn) Xi(≥0.3μm) Xi(≥0.5μm） 采樣點(diǎn) Xi(≥0.3μm) Xi(≥0.5μm）
1 9464 2071 17 2428 893
2 2357 1714 18 2071 1250
3 6963 643 19 7213 536
4 4464 1000 20 7928 0
5 4785 643 21 7571 286
6 5892 571 22 6358 321
7 6142 286 23 5642 357
8 2643 321 24 5071 429
9 3750 250 25 4213 464
10 4107 1357 26 4142 0
11 4821 607 27 4571 71
12 5999 571 28 3857 107
13 3035 536 29 3500 143
14 3392 429 30 4928 214
15 6714 393 31 5285 286
16 5785 0 32 4214 321